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电容结构及其形成方法技术
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文档序号:20008546
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本发明提供一种电容结构及其形成方法,该电容结构包括:一基板,具有多个间隔的电容触点;多个电容柱,电容柱形成于基板上,并与电容触点接合,电容柱由内而外包括第一上电极层、第一介电层、下电极层、第二介电层及第二上电极层;固定层,平行于所述基板,多...
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