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III-V衬底上的高介电常数电容器结构制造技术
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文档序号:20008536
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本公开涉及一种III‑V衬底上的高介电常数电容器结构。一种半导体结构包含III‑V半导体结构;第一电极;安置于所述第一电极上方的第一阻挡层;安置于所述第一电极上方的第一粘附层;安置于所述第一粘附层上方的第一钝化层;安置于所述第一钝化层上方的...
该专利属于安华高科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过安华高科技股份有限公司授权不得商用。
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