下载一种晶圆的混合键合结构及方法的技术资料

文档序号:20008525

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种晶圆的混合键合方法,包括以下步骤:提供第一晶圆和第二晶圆,所述第一晶圆具有待混合键合的第一衬底,所述第二晶圆具有待混合键合的第二衬底;在所述第一衬底上形成第一金属导体,在所述第二衬底上形成第二金属导体;在所述第一金属导体的第一...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。