下载薄膜晶体管制作方法、薄膜晶体管以及显示面板的技术资料

文档序号:20008431

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本发明提供一种薄膜晶体管制作方法、薄膜晶体管以及显示面板,包括:提供一衬底基板;在衬底基板上形成第一栅极以及与第一栅极间隔的第二栅极;在衬底基板上形成栅极绝缘层,栅极绝缘层覆盖第一栅极和第二栅极;在栅极绝缘层上形成半导体层;在半导体层上形成...
该专利属于深圳市华星光电技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市华星光电技术有限公司授权不得商用。

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