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本发明提供一种基板承托盘，包括盘体；其中，所述盘体的表面的中部区域或/和边缘区域上朝上设置有支撑针。通过支撑针对基板的中部区域和边缘部位进行承托，减小基板向下弯曲变形的形变量，防止基板与曝光平台接触产生摩擦后导致曝光平台镜面化。...
该专利属于深圳市华星光电技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市华星光电技术有限公司授权不得商用。

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