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本发明公开了一种半导体基板搬运装置，包括进料支撑架，弯转输出架的输出端口固定连接有出料传输架，传输轴的中间位置固定连连接有进料传输轮，弯转转轴的中间位置固定连接有弯转传输轮，出料传输架的中间位置均匀转动连接有出料传输轮，弯转输出架的内侧固定...
该专利属于浙江雅市晶科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江雅市晶科技有限公司授权不得商用。

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