下载移送引导组件及基板移送装置的技术资料

文档序号:20008367

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公开一种包括移送引导组件及驱动部件的用于移送浮在板上部的基板的移送装置。所述移送引导组件可包括实质上具有平坦的板形状的本体及与所述基板的一侧棱角接触且设置于所述本体的一侧的接触部。所述移送引导组件在移送所述基板期间能够与所述基板一起浮起。所...
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