移送引导组件及基板移送装置制造方法及图纸

公开一种包括移送引导组件及驱动部件的用于移送浮在板上部的基板的移送装置。所述移送引导组件可包括实质上具有平坦的板形状的本体及与所述基板的一侧棱角接触且设置于所述本体的一侧的接触部。所述移送引导组件在移送所述基板期间能够与所述基板一起浮起。所述驱动部件通过沿着移送方向驱动所述移送引导组件，能够沿着所述移送方向移送所述基板。根据本发明专利技术，不仅能够防止工程不良，还能够有效地用于平板显示装置之类的显示装置的制造工程。

Transfer Guide Component and Substrate Transfer Device

A transfer device for transferring a substrate floating on a board is disclosed, which includes a transfer guide component and a drive component. The transfer guide assembly may include a substantially flat plate-shaped body and a contact part which is angular and angular to one side of the substrate and is arranged on one side of the body. The transfer guide assembly can float together with the substrate during the transfer of the substrate. By driving the transfer guide component along the transfer direction, the driving component can transfer the substrate along the transfer direction. According to the present invention, it can not only prevent bad engineering, but also be effectively used in the manufacturing engineering of display devices such as flat panel display devices.

【技术实现步骤摘要】
移送引导组件及基板移送装置本申请享有2017年6日19日向韩国特许厅申请的韩国专利申请第10-2017-0077043号的优先权。
本专利技术例示的实施例涉及移送引导组件及包括其的基板移送装置。更具体来讲，本专利技术例示的实施例涉及一种能够引导浮在板上部的基板的移送的移送引导组件及包括这种移送引导组件的基板移送装置。
技术介绍
平板显示(FPD)装置之类的显示装置大体利用面积相对大的基板制成。为了防止在用于制造这种显示装置的工程中所述基板下垂，可以从板上浮起所述基板移送所述基板。现有的基板移送装置可包括在从所述板浮起所述基板进行移送期间对所述基板进行引导的部件。引导所述基板的部件通常可以在所述板的上部与所述基板的一侧棱角接触。随着引导所述基板的部件沿着移送方向工作，能够向所述移送方向移送与引导所述基板的部件接触的所述基板。在所述板的上部移送所述基板期间，引导所述基板的部件与所述板接触的情况下所述板可能会受到损伤。因此，引导所述基板的部件应与所述板的上面相隔预定的距离。而近来制造显示装置的工程期间移送所述基板约2m以上的距离，这种长距离移送所述基板期间难以使引导所述基板的部件与所述板之间保持预定的距离。即，移送所述基板的移送距离长的情况下，引导所述基板的部件也移动长距离，因此移送所述基板期间可能难以精确控制所述板与引导所述基板的部件的距离，因此可能会引起工程不良。
技术实现思路
技术问题本专利技术的一个目的是提供一种在移送基板期间能够相对于板实质上保持预定的距离的移送引导组件。本专利技术的另一目的是提供一种包括所述移送引导组件的基板移送装置。技术方案根据本专利技术的一个方面，提供一种包括本体及接触部的移送引导组件。所述本体可具有平坦的板形状。所述接触部可以与基板的一侧棱角接触。所述接触部可以设置于所述本体的一侧。所述移送引导组件在移送所述基板期间能够与所述基板一起浮起。根据例示的实施例，所述本体可包括聚醚醚酮(polyetheretherketone：PEEK)或陶瓷。根据部分例示的实施例，所述基板可通过超声波发生的浮起力与所述移送引导组件一起浮起。根据本专利技术的另一方面，提供一种包括移送引导组件及驱动部件的用于移送浮在板上部的基板的基板移送装置。所述移送引导组件可包括实质上具有平坦的板形状的本体及与所述基板的一侧棱角接触且设置于所述本体的一侧的接触部。所述移送引导组件在移送所述基板期间可以与所述基板一起浮起。所述驱动部件可通过沿着移送方向驱动所述移送引导组件，沿着所述移送方向移送所述基板。根据例示的实施例，所述移送引导组件可包括聚醚醚酮或陶瓷。根据部分例示的实施例，所述基板可通过超声波发生的浮起力与所述移送引导组件一起浮起。根据例示的实施例，所述基板移送装置还可以包括：从所述移送引导组件向第一方向配置的第一延伸部及从所述驱动部件向第二方向配置的第二延伸部。所述移送引导组件与所述驱动部件可通过连接所述第一延伸部与所述第二延伸部相连接。根据例示的实施例，所述第一延伸部可结合于所述第二延伸部且能够向所述第一方向移动。技术效果根据本专利技术例示的实施例，所述移送引导组件在移送所述基板期间能够通过施加于所述基板的浮起力和所述基板一起浮在板上部。因此，所述移送引导组件在所述基板的尺寸相对大或所述基板的移送距离相对长的情况下也能够相对于所述板实质上保持预定的距离。并且，所述移送引导组件及所述基板移送装置能够在将基板浮在板上部的状态下移送所述基板，因此不仅能够防止工程不良，还能够有效地用于平板显示装置之类的显示装置的制造工程。另外，本专利技术的效果不限于以上所述的效果，在不超出本专利技术的思想及领域的范围内可进行多种扩张。附图说明图1是简要显示本专利技术例示的实施例的基板移送装置的剖面图；图2是简要显示本专利技术例示的实施例的基板移送装置的移送引导组件的立体图；图3是简要显示本专利技术例示的实施例的基板移送装置的延伸部的平面图。具体实施方式以下说明本专利技术例示的实施例。本专利技术可实施多种变更，可以具有多种形态，以下在说明书中具体说明实施例。但其目的并非将本专利技术限定于特定的公开形态，实际上应该理解为包括本专利技术思想及技术范围内的所有变更、等同物及替代物。在说明各附图时对类似的构成要素标注类似的附图标记。第一、第二等用语可用于说明多种构成要素，但所述构成要素并非受限于所述用语。所述用语只是用于使一个构成要素与其他构成要素相区分。本申请中使用的用语只是用于说明特定实施例，而并非限定本专利技术。单数的表现形式在无其他明确说明的情况下还包括复数的表现形式。应该将本申请中所述的“包括”或“构成”等用语理解为存在说明书上记载的特征、数字、步骤、动作、构成要素、部件或其组合，而不应理解为预先排除一个或多个其他特征或数字、步骤、动作、构成要素、部件或其组合。若无另行定义，包括技术用语或科学用语在内的此处使用的所有用语均表示与本专利技术所属
的普通技术人员通常理解相同的意思。通常使用的词典中定义过的用语应解释为与相关技术的文章脉络相一致的意思，本申请中没有明确定义的情况下不得解释为理想或过度形式性的意思。以下参见附图说明本专利技术例示的实施例的基板移送装置。图1是简要显示本专利技术例示的实施例的基板移送装置的剖面图。参照图1，例示的实施例的基板移送装置100可以在大体平板显示装置之类的显示装置的制造工程中6用于移送面积相对大的基板11。例如，所述基板移送装置100可以与在所述显示装置的制造工程中能够对所述面积相对大的基板11进行加热或冷却以改变所述基板11的温度的热处理装置(未示出)一起使用。选择性地，所述基板移送装置100可设置于所述热处理装置内。根据其他例示的实施例，所述基板移送装置100可以与能够向所述基板11上涂布光刻胶、用于形成薄膜的化学溶液、清洗液等的涂布装置(未示出)一起使用。类似地，所述基板移送装置100可配置于所述涂布装置内。如图1例示，所述基板移送装置100可包括板13、移送引导组件110、驱动部件120等。所述板13可支撑位于其上部的所述基板11，能够向所述基板11的底面提供能够通过超声波生成的浮起力，因此所述基板11能够浮在所述板13上部。虽然没有示出，但是板13上可以具有孔(hole)，可通过这些孔向所述基板11的底面上施加所述超声波，以将所述基板11浮在所述板13上部。所述基板移送装置100还可以包括能够通过所述板13向所述基板11提供所述浮起力的浮起力提供部件。例如，所述基板移送装置100还可以包括连接于所述板13且能够向所述基板11提供超声波的超声波提供部件。根据其他例示的实施例，所述基板移送装置100除超声波之外还可以利用磁力或能够通过空气或惰性气体发生的浮起力将所述基板11浮在所述板13上部。所述基板移送装置100与上述热处理装置一起使用的情况下，所述基板移送装置100还可以包括用于将所述基板11加热到预定的温度的加热部件(未示出)及/或用于将所述基板11冷却到所需的温度的冷却部件(未示出)。在此，所述加热部件及/或所述冷却部件可连接于所述板13。再次参见图1，所述移送引导组件110可引导所述基板11沿着指定的移送方向移送浮在所述板13上部的所述基板11。例如，所述移送引导组件110可在预定的工程前后向所述板13上部及从所述板13移送所述基板11。以下本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种移送引导组件，其特征在于，包括：本体，其具有平坦的板形状；以及接触部，其与基板的一侧棱角接触且设置于所述本体的一侧，其中，所述移送引导组件在移送所述基板期间与所述基板一起浮起。

【技术特征摘要】
2017.06.19 KR 10-2017-00770431.一种移送引导组件，其特征在于，包括：本体，其具有平坦的板形状；以及接触部，其与基板的一侧棱角接触且设置于所述本体的一侧，其中，所述移送引导组件在移送所述基板期间与所述基板一起浮起。2.根据权利要求1所述的移送引导组件，其特征在于：所述本体包括聚醚醚酮或陶瓷。3.根据权利要求1所述的移送引导组件，其特征在于：所述基板通过超声波发生的浮起力与所述移送引导组件一起浮起。4.一种基板移送装置，用于移送浮在板上部的基板，其特征在于，包括：移送引导组件，其包括具有平坦的板形状的本体及与所述基板的一侧棱角接触且设置于所述本体的一侧的接触部...

【专利技术属性】
技术研发人员：金基哲，朴奇洪，李昌镛，崔峰满，俞阿敏，
申请(专利权)人：细美事有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国,KR