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本申请公开了一种圆片清洗装置及清洗方法，其特征在于：包括传动系统、加热清洗系统、喷淋系统、烘干系统和控制器；传动系统包括传动轮、变频电机和输送带，变频电机分别连接传动轮和控制器，输送带铺在加热清洗系统、喷淋系统和烘干系统表面；加热清洗系统为...
该专利属于广西桂芯半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广西桂芯半导体科技有限公司授权不得商用。

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