专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
三星电子株式会社
>
基板干燥装置、制造半导体器件的设备及干燥基板的方法制造方法及图纸
>技术资料下载
下载基板干燥装置、制造半导体器件的设备及干燥基板的方法的技术资料
文档序号:20008332
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
公开了一种基板干燥装置、制造半导体器件的设备以及干燥基板的方法。基板干燥装置包括:腔室,其被配置为以第一温度干燥基板;第一贮存器,其被配置为储存处于小于第一温度的第二温度的第一超临界流体;第二贮存器,其被配置为储存处于大于第一温度的第三温度...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。