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本发明涉及一种清洗系统，其包括至少一清洗装置、至少一机械臂、至少一晶片存取装置。本发明还涉及一种清洗方法。清洗系统由清洗装置、机械臂、晶片存取装置组合而成，实现晶片的自动化传送和清洗，来代替现有的人工清洗，以避免表面清洗后的晶片出现水痕、水...
该专利属于广东先导先进材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广东先导先进材料股份有限公司授权不得商用。

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