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本发明提供一种功率器件及其制备方法，包括：衬底，第一外延层，第一沟槽，第一注入区，第二外延层，第二沟槽，第三沟槽，第四沟槽，第二注入区，第三外延层，所述第二外延层为L型，所述第二外延层的内侧面覆盖所述第三外延层的侧面和部分底面，所述第三外延...
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