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鳍式晶体管的形成方法包含在基底上形成鳍片，用氮基自由基覆盖鳍片的至少上部，其中氮基自由基沿着鳍片的上部的侧壁和在鳍片的上部的顶面上以各自不同的浓度分布，以及使用热氧化工艺在鳍片的上部形成氧化物层。...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

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