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本发明提供水性CMP抛光组合物，所述组合物按所述组合物的总重量计包含0.5到30重量％的多个含有阳离子氮原子的细长、弯曲或球状胶态二氧化硅颗粒的分散体，以及0.001到0.5重量％、优选10到500ppm的二烯丙基二甲基铵盐，如二烯丙基二甲...
该专利属于罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司授权不得商用。

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