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本发明提供一种线圈组件，其中，所述线圈组件包括多组感应线圈，多组所述感应线圈的输入端电连接，且多组所述感应线圈的输出端沿所述线圈组件周向均匀分布。本发明还提供一种等离子体发生装置和一种等离子体设备。所述感应线圈能够在工艺腔中形成均匀的等离子...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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