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本发明涉及太阳能级多晶硅制造领域，尤其涉及一种提高电子束熔炼多晶硅效率的方法及装置。本发明具有熔炼坩埚，熔炼坩埚的侧壁和底板之间的连接角设有向内的倾斜面，倾斜角度为45°‑60°，降低熔炼过程中边缘位置凝固层的厚度，增强电子束的熔炼效果。本...该专利属于青岛蓝光晶科新材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过青岛蓝光晶科新材料有限公司授权不得商用。
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本发明涉及太阳能级多晶硅制造领域，尤其涉及一种提高电子束熔炼多晶硅效率的方法及装置。本发明具有熔炼坩埚，熔炼坩埚的侧壁和底板之间的连接角设有向内的倾斜面，倾斜角度为45°‑60°，降低熔炼过程中边缘位置凝固层的厚度，增强电子束的熔炼效果。本...