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本发明涉及微纳加工的技术领域，更具体地，涉及一种平面内纳米结构的精确可控制造方法，包括：提供一块薄膜基板，所述薄膜基板的上部设有纳米自支撑薄膜；在纳米自支撑薄膜上加工所需形状的纳米结构；将加工得到的纳米结构收缩至所需尺寸，制成纳米掩膜板；将...
该专利属于广东工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过广东工业大学授权不得商用。

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