下载半导体冷冻吸盘的技术资料

文档序号:19999593

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种半导体冷冻吸盘,包括底座,底座呈中空结构且内置有安装板,安装板开设有多个圆孔和长形孔。安装板上自下而上依次设置有散热盘、半导体组合片和导冷板。散热盘内开设有液体循环通道,圆孔和长形孔连通液体循环通道。半导体组合片包括第一半导...
该专利属于天津职业技术师范大学;无锡鑫旭润科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过天津职业技术师范大学;无锡鑫旭润科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。