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本申请实施例公开了一种单片式清洗机及其卡盘，该卡盘包括：基座、卡盘主体、轴承和定位销；其中，所述卡盘主体安装在所述基座上，所述轴承套装在所述基座和所述卡盘主体之间，所述定位销位于所述卡盘主体上；所述定位销包括第一定位销和第二定位销；所述第一...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。

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