下载晶片清洗用离心清洗脱水装置的技术资料

文档序号:19976230

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本实用新型涉及晶片清洗用离心清洗脱水装置,包括清洗箱,清洗箱内从上到下依次设置有清洗腔、污水腔和净水腔,清洗腔正面设置有箱门,清洗箱顶部设置有驱动电机,驱动电机通过转轴连接有位于清洗腔内的转盘,转盘上设置有若干上下通透的晶片固定孔,晶片固定...
该专利属于嘉兴晶控电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过嘉兴晶控电子有限公司授权不得商用。

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