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本实用新型涉及半导体器件技术领域，特别是指一种低翘曲度多晶片的制作装置，包括基座、支架、固定架、升降台，所述基座上设有两固定架，所述固定架内部设有加热器，所述固定架之间放置晶片，所述基座上左侧设有支架，所述支架为倒L型，所述支架上设有液压杆...
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