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本发明提供一种功率器件及其制备方法，包括：第一导电类型的衬底,第一导电类型的第一外延层,源区和体区,第一导电类型的第四外延层,第二导电类型的第三外延层,第二沟槽,第二导电类型的第二外延层,第四沟槽,第五沟槽,第一导电类型的第五外延层,第一导...
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