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本发明公开了一种对位装置、对位系统和对位方法，用于供若干个待对位结构进行对位，待对位结构上设置有具有预设形状的对位标记，对位标记的材料包括介电材料，该对位装置包括：第一电极、第二电极和电容检测电路；第一电极和第二电极相对设置，第一电极朝向第...该专利属于京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司授权不得商用。