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本实用新型提供了一种MEMS加速度计，包括：基板、可动部件以及固定电极组；基板表面具有锚定区域；可动部件通过支撑梁与锚定区域连接，并悬置于基板上方，可动部件包括第一质量块和第二质量块；第一质量块的中部具有第一镂空区域，第一镂空区域为“工”形...
该专利属于深迪半导体（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深迪半导体（上海）有限公司授权不得商用。

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