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一种单悬梁气体传感器及传感器阵列制造技术
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文档序号:19965395
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本实用新型公开了一种单悬梁气体传感器,包括依次层叠设置的硅衬底、支撑膜、加热电阻、隔离膜和检测电极,该气体传感器呈“T”型,具有基体结构和悬臂结构,在悬臂结构的端部上设有气敏材料。本实用新型还提供了一种由单悬梁气体传感器组成的传感器阵列。本...
该专利属于合肥微纳传感技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过合肥微纳传感技术有限公司授权不得商用。
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