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本发明实施例提供一种光罩组及其光刻方法。光罩组包括：第一光罩，具有第一条状图案，沿第一方向延伸；以及第二光罩，具有第二条状图案，沿第二方向延伸，第二方向与第一方向相异；其中第一光罩与第二光罩叠置对同一光刻胶层双重曝光时，第一条状图案与第二条...
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