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本发明涉及晶圆流片生产测试附属装置的技术领域，特别是涉及一种用于晶圆流片的电阻率检测装置，其可以提高晶圆流片在检测台上的放置稳定性，防止在使用电阻率检测探头对晶圆流片进行检测的过程中晶圆流片发生滑动，减少影响检测结果的外界因素，提高使用可靠...
该专利属于江苏英锐半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏英锐半导体有限公司授权不得商用。

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