温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种溅射镀膜设备，其技术方案要点包括柜体、开设于所述柜体内的真空室、固定于所述真空室中部位置的阴极柱、间隔设置于所述阴极柱外壁周侧的若干立柱，所述立柱的外壁上沿其长度方向套设有放置架，所述柜体位于真空室下方设置有驱动室，所述...
该专利属于青岛华磊真空镀膜有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过青岛华磊真空镀膜有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。