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本发明公开了一种二氧化钛薄膜的制备方法，具体步骤如下：进行沉积前吹扫清洗管道和沉积室；采用鼓泡法通过载气将四氯化钛带入沉积室，并向沉积室通入氢气和二氧化碳；关闭载气和二氧化碳，保持氢气流量，待沉积室内无反应进行，关闭氢气；在惰性气气氛保护下...
该专利属于合肥国轩高科动力能源有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥国轩高科动力能源有限公司授权不得商用。

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