一种二氧化钛薄膜的制备方法技术

本发明专利技术公开了一种二氧化钛薄膜的制备方法，具体步骤如下：进行沉积前吹扫清洗管道和沉积室；采用鼓泡法通过载气将四氯化钛带入沉积室，并向沉积室通入氢气和二氧化碳；关闭载气和二氧化碳，保持氢气流量，待沉积室内无反应进行，关闭氢气；在惰性气气氛保护下，待沉积室温度下降至300℃以下时，取出制好的二氧化钛薄膜。在高温条件（700~900℃）下，使用二氧化碳和氢气反应制备出少量水，与四氯化钛反应生成性能优良的二氧化钛薄膜，这种二氧化钛薄膜均匀致密且具有优良级的强度，同时该制备方法的成膜厚度可控、工艺简单，可实现在复杂结构耐高温工件直接涂覆形成均匀涂层。

Preparation of a Titanium Dioxide Thin Film

The invention discloses a preparation method of titanium dioxide film, which comprises the following steps: cleaning pipes and chambers before deposition; bringing titanium tetrachloride into the chamber through carrier gas by bubbling method, and introducing hydrogen and carbon dioxide into the chamber; closing the carrier gas and carbon dioxide, maintaining the flow of hydrogen gas, no reaction in the chamber, and closing hydrogen gas in inert gas; Under the protection of atmosphere, the prepared titanium dioxide film was obtained when the temperature of the deposition chamber dropped below 300 C. A small amount of water was prepared by the reaction of carbon dioxide and hydrogen at high temperature (700-900 C). Titanium dioxide thin films with excellent properties were prepared by reaction with titanium tetrachloride. The thin films are uniform and compact, and have excellent strength. At the same time, the thickness of the thin films prepared by this method is controllable and the process is simple. It can be directly coated on high temperature resistant workpieces with complex structures to form uniform coatings. \u3002

【技术实现步骤摘要】
一种二氧化钛薄膜的制备方法
本专利技术属于薄膜
，具体涉及一种二氧化钛薄膜的制备方法。
技术介绍
二氧化钛薄膜广泛应用于光学、硬质材料、绝缘材料、传感器等领域，具有广阔应用前景的材料。化学气相沉积法是一种制备二氧化钛薄膜的重要手段，具有操作简单、重复性好，厚度可控，可在结构复杂工件上大面积均匀成膜等优点。目前采用化学气相沉积法，制备二氧化钛薄膜的原料主要以四异丙醇钛、钛酸丁酯等为主。具体是在相对较低温度下，通过热分解的方式制备出锐钛矿相二氧化钛薄膜。但高温条件下直接制备二氧化钛薄膜几乎没有报告。
技术实现思路
基于此，本专利技术提供了一种二氧化钛薄膜的制备方法，在高温条件（700~900℃）下，使用反应气二氧化碳和反应气氢气反应制备出少量水，与四氯化钛反应生成性能优良的二氧化钛薄膜，这种二氧化钛薄膜均匀致密且具有优良级和强度，同时该制备方法的成膜厚度可控、工艺简单，可实现在复杂结构耐高温工件直接涂覆形成均匀涂层。为了实现上述目的，本专利技术采用以下技术方案：一种二氧化钛薄膜的制备方法，包括以下步骤：a.进行沉积前吹扫清洗管道和沉积室；b、采用鼓泡法通过载气将四氯化钛带入沉积室，并向本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种二氧化钛薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：a. 进行沉积前吹扫清洗管道和沉积室；b、采用鼓泡法通过载气将四氯化钛带入沉积室，并向沉积室通入反应气氢气和反应气二氧化碳；c、关闭载气和反应气二氧化碳，保持反应气氢气流量，待沉积室内无反应进行，关闭反应气氢气；在惰性气氛保护下，待沉积室温度下降至300℃以下时，取出制好的二氧化钛薄膜。

【技术特征摘要】
1.一种二氧化钛薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：a.进行沉积前吹扫清洗管道和沉积室；b、采用鼓泡法通过载气将四氯化钛带入沉积室，并向沉积室通入反应气氢气和反应气二氧化碳；c、关闭载气和反应气二氧化碳，保持反应气氢气流量，待沉积室内无反应进行，关闭反应气氢气；在惰性气氛保护下，待沉积室温度下降至300℃以下时，取出制好的二氧化钛薄膜。2.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，在步骤a中，所述吹扫清洗管道和沉积室的具体步骤为：采用氮气或氢气吹扫清洗管道和沉积室1~2h。3.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述沉积室的压力为常压，温度为700~900℃。4.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述步骤b的具体步骤为：反应气氢气和反应气二氧化碳经过第一混气罐后，与载有四氯化钛的载气在第二混气罐混合后进...

【专利技术属性】
技术研发人员：高爽，
申请(专利权)人：合肥国轩高科动力能源有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽,34