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本发明涉及集成电路材料表面处理设备用的上下料装置，包括支架、第一送料装置、第一升降装置、推料装置、以及上料输送装置；该支架上设有放料口；该第一送料装置设置在该支架上，且与该放料口对应设置，以输送从该放料口放进的带有工件的料盒；该第一升降装置...
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