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本发明提供一种成膜装置，其具有：炉，其内配置基板；第一加热器，其对炉进行加热；喷雾供给装置，其将含有原料溶液的喷雾的载气供给至炉内；以及整流器，其配置在炉内，对含有喷雾的载气的流动进行整流。整流器具有使含有喷雾的载气通过的多个通孔。设置于整...
该专利属于丰田自动车株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过丰田自动车株式会社授权不得商用。

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