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本发明涉及化工技术领域，公开了一种甲基氯硅烷放空尾气回收方法以及回收装置；甲基氯硅烷放空尾气回收方法包括：回收甲基氯硅烷合成反应中产生的高沸物；冷凝高沸物；将第一放空尾气通入冷凝后的高沸物；冷凝后的高沸物对第一放空尾气进行吸收。甲基氯硅烷放...
该专利属于合盛硅业股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合盛硅业股份有限公司授权不得商用。

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