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本发明公开了一种垂直腔面发射激光器阵列及其制作方法，激光器阵列包括衬底、第一周期性层叠镜面结构、发光层和第二周期性层叠镜面结构，由所述第二周期性层叠镜面结构形成若干以阵列形式排布的呈台状的出光单元；在所述出光单元上设置有用于调控出射光的透镜...
该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。

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