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本发明公开了一种薄膜体声波谐振器结构的纳米机械声学天线及制造方法，所述天线包括衬底、磁致伸缩层和压电堆；所述压电堆包括压电薄膜、下电极和上电极；所述下电极位于压电薄膜与衬底之间，所述磁致伸缩层和上电极位于压电薄膜上方，在下电极的位置处，衬底...
该专利属于河海大学常州校区所有，仅供学习研究参考，未经过河海大学常州校区授权不得商用。

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