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一种AlGaN基MSM结构日盲型紫外探测器及其制备方法技术
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下载一种AlGaN基MSM结构日盲型紫外探测器及其制备方法的技术资料
文档序号:19937227
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本发明公布了一种AlGaN基MSM结构日盲型紫外探测器及制备方法,结构包括图形化蓝宝石衬底、ZnO缓冲层、非故意掺杂Al0.3Ga0.7N光吸收层、第一Ni/Au叉指电极、第二Ni/Au叉指电极。AlGaN基MSM结构日盲型紫外探测器制备方...
该专利属于镇江镓芯光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过镇江镓芯光电科技有限公司授权不得商用。
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