下载垂直存储器件的技术资料

文档序号:19937153

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提供了一种垂直存储器件及制造该器件的方法。垂直存储器件可以包括:堆叠在半导体衬底的单元区域中的多个栅电极层;划分所述多个栅电极层当中最上面的栅电极层的在第一方向上延伸的多个上隔离绝缘层;多个垂直孔,所述多个垂直孔布置为使任意两个相邻的垂直孔...
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