下载一种氮化镓绝缘栅高电子迁移率晶体管及其制作方法的技术资料

文档序号:19937058

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本发明提出一种优先制备器件深槽隔离的高可靠性氮化镓绝缘栅高电子迁移率晶体管及其制作方法。该方案的特点是在对外延片清洗处理后,直接制备深槽隔离,然后沉积栅介质和沉积较厚的护层介质。这样一方面实现了深槽隔离的平坦化,另一方面,较致密的栅介质层可...
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