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一种基板处理设备，其包括:支撑运输单元，所述支撑运输单元支撑并运输所述基板，所述支撑运输单元以及所述基板均相对于水平面倾斜设置；溶液分配装置，所述溶液分配装置向待处理基板上提供处理溶液。本实用新型的基板处理设备，位于下方的喷嘴的喷淋极限位置...
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