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本发明涉及曝光装置及物品的制造方法。提供曝光装置，具有：载置台，保持基板使该基板移动；控制部，控制载置台；第1测量部，在被载置台保持的基板的拍摄区域到达对拍摄区域曝光的曝光区域之前测量拍摄区域的高度方向的位置；第2测量部，先于第1测量部而测...
该专利属于佳能株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过佳能株式会社授权不得商用。

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