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本发明公开了一种双层栅网球形二次电子收集器，包括由内到外的：球形接地栅网、球形偏压栅网、球形二次电子收集极、球形接地屏蔽电极；上半球的顶部开有用于导入入射电子束的孔，下半球的底部开有用于将被测样品通过样品测试载台送入二次电子收集器中心的孔；...
该专利属于中国工程物理研究院流体物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国工程物理研究院流体物理研究所授权不得商用。

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