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本发明提供了一种工艺腔室气体检测系统及其操作方法，该检测系统包括一腔体、一抽气单元、一抽气管、一连接管以及一气体检测器。前述腔体配置于执行化学气相沉积工艺，抽气管连接腔体与抽气单元，连接管连通抽气管，气体检测器则设置于该连接管上，并用以检测...
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