温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种真空吸附载台，涉及载台技术领域，可解决现有真空吸附载台因真空通入管的数量较多而导致结构过于复杂的问题以及因需要分别控制每个真空通入管上的阀门开闭而导致操作极不方便的问题。该真空吸附载台包括本体，本体的上表面设有多个第一吸附结...
该专利属于京东方科技集团股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过京东方科技集团股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。