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本实用新型涉及一种用于激光微孔加工的光束扫描系统，该光束扫描系统包括发射激光束的激光器模块，还包括：光束二维扫描模块、光束横移模块、光束二维扫描模块驱动系统、光束横移模块驱动系统，聚焦镜、协同控制系统。本实用新型的系统实时检测光束横移模块的...
该专利属于西安中科微精光子制造科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过西安中科微精光子制造科技有限公司授权不得商用。

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