下载一种用于等离子体产生的真空容器的技术资料

文档序号:19908378

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本实用新型公开了一种用于等离子体产生的真空容器,涉及真空容器技术领域,可解决现有真空容器因难以实现接管相对位置的临时调整而导致临时性附件安装不便的问题。该真空容器包括相互对接以围成真空腔的第一壳体和第二壳体,所述第一壳体和所述第二壳体的非中...
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