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压电式微纳夹持、定位调整装置及其使用方法制造方法及图纸
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文档序号:19907872
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一种压电式微纳夹持、定位调整装置及其使用方法,以解决当前传统夹持器难以实现大尺度、高精度的精密调节定位,且不适用于在真空、低温、强辐射等苛刻环境下进行工作导致应用受限等问题。本发明由支撑架、夹持装置、连接装置、驱动装置、连接轴和固定器组成。...
该专利属于长春工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过长春工业大学授权不得商用。
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