下载在气相反应器中合成硅-碳复合材料的技术资料

文档序号:19906926

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本发明提供了制造硅‑SiC复合材料粉末的方法,其中将气体料流I和同轴气体料流II送入到热壁反应器中,气体料流I含有SiH4、Si2H6和/或Si3H8和至少一种选自乙烯和/或乙炔的烃,同轴气体料流II含有氢气,其中气体料流II相对于气体料流...
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