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本发明公开了一种发光二极管外延片的制备方法，属于发光二极管制造领域。在将衬底放入有机化学气相沉积设备的转盘内时，弓形的圆边表面的弦的中点与转动轴之间的距离，大于为弓形的圆边表面的弧的中点与转动轴之间的距离，这种设置使得衬底的平边表面朝向远离...
该专利属于华灿光电（浙江）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过华灿光电（浙江）有限公司授权不得商用。

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