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本发明公开了一种薄膜晶体管的制造方法，通过半透掩膜版同时形成薄光阻区、无光阻区和厚光阻区，通过控制半透掩膜版透过率，实现无光阻区的源漏极层金属和薄光阻区的光阻同时完成刻蚀，以减省薄光阻区光阻灰化工艺。采用干刻的方式对源漏极层金属进行刻蚀，可...该专利属于南京中电熊猫液晶显示科技有限公司;南京中电熊猫平板显示科技有限公司;南京华东电子信息科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过南京中电熊猫液晶显示科技有限公司;南京中电熊猫平板显示科技有限公司;南京华东电子信息科技股份有限公司授权不得商用。