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包括具有增强功能的包埋式绝缘层的晶体管元件制造技术
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下载包括具有增强功能的包埋式绝缘层的晶体管元件的技术资料
文档序号:19906711
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在复杂的SOI晶体管元件中,包埋式绝缘层可以特别地设计成包含非标准介电材料。例如,可以将电荷俘获材料和/或高k介电材料和/或介电材料结合到包埋式绝缘层中。这样,可以获得具有优良性能的非易失性存储晶体管元件和/或可以提高反向偏置机构的效率。...
该专利属于格芯公司所有,仅供学习研究参考,未经过格芯公司授权不得商用。
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